冥婚之俗由来己久，《周礼。地官。媒氏》有“禁迁葬者与嫁疡者”之记载，对此郑玄注曰:“迁葬谓生时非夫妇，死既葬，迁之使相从也。疡，十九以下未嫁而死者，生不以礼相接，死而合之。由此可见，迁葬和嫁疡便是后世所见的冥婚陋习。既然《周礼》中明文禁止，就可证明周以前己产生此俗，否则，何言之禁者。甲骨卜辞中有关商王为其祖先娶冥妇的记载，可谓后世冥婚的起源和雏型，它一般是商王为神祖举行的，所娶冥妇以活生生的女性俘虏或奴隶充之，多带有“殉葬”成份。随着生产力的发展和社会制度的变化，“殉葬”方式愈来愈不能被接受，嫁疡之习便兴起，逐渐形成后世所见冥婚，并在中国历史的长河中一直延续着。
有关秦汉时期冥婚的情况，在正史中很难看到，但可从郑众为《周礼》“嫁疡”所作解释中略知一二:“嫁疡者谓嫁死人也。今时娶会是也。另外《搜神i动卷十六也叙述了汉时“谈生冥婚”的怪事。可知，汉代也有冥婚的习俗。以后冥婚的事例渐渐多了起来，如三国时魏武帝曹操幼子曹冲卒，聘甄氏亡女与之合葬;魏明帝曹颤爱女曹淑亡，取甄后从孙与之合葬。北朝“正国子平城，早卒，孝文时，始平公主亮于宫，追赠平城驹马都尉，与公主冥婚”。北魏时出现所谓“魂人者”，“今己葬之魂，人直求貌类者事之如父母，燕好如夫妻。"牛僧孺在《玄怪录》卷二《曹惠》中说，南朝齐诗人宣城太守谢用L有两个老婆，“王氏乃生前之妻，乐氏乃冥婚耳。”
隋唐五代，尤其是唐，冥婚现象己蔚然成风，上自帝王，下至百姓，均尚此俗。如意元年(公元692年)，淮阳郡王韦洞死，后来其姊成皇后，唐中宗制令“冥婚太子家令清河崔道酞亡第四女为妃而会葬。"大足元年(公元701年)，李重润被武后则天杖杀，年十九。“中宗即位，追赠皇太子，溢曰爵德，陪葬乾陵，仍为聘国子监y裴粹亡女为冥婚，与之合葬。唐肃宗第三子建宁王佚，安史之乱中，因受李辅国等人陷害，被肃宗赐死，“及代宗即位，深思建宁之冤，追赠齐王……追溢曰承天皇帝，与兴信公主第十四女张氏冥婚，溢曰恭顺皇后。除了皇家以外，平民百姓冥婚之事也非常普遍，张楚贞观十九年(公元645年)死，年二十，显庆六年(公元661年)“冥婚马氏。”戴孚在《广异记。长洲陆氏女》云:长洲县压陆某，女年十五六，投井而死。后一岁许，有临顿李十八卒，便将女与李为冥婚。《太平广记》一书也载引了大量冥婚故事。虽然这些是野史或神鬼小说，未必是事实，却是唐代冥婚现象的曲折反映。何光远所撰《鉴戒录》卷十说，蜀地有个曹孝廉，因爱慕一位神的土塑侍女，竟“愿与小娘子(指塑女)为冥婚，终身不睛凡庶矣。”这也透视出冥婚之风在五代时流行之盛，难怪郑余庆竟把冥婚列在《书仪》，想使其成为定制。
宋时，北俗冥婚甚盛，康誉之在《昨梦录》中详记其仪。“元时，子弟死而无妻者，或求亡女骨合疼之。明朝仍沿旧俗，并未中断，因而有“嫁疡，嫁死人则此俗古己有之，今民间犹有行焉，而无禁也的记载。到了满清，冥婚现象仍旧屡见不鲜，“凡男女纳采后，若有夭疡，则行冥配之礼。直至民国时，晋、冀、鲁、浙、粤、台等地还存此俗，就是当今社会，进行冥婚者还时有见闻。